제주대학교 산학협력단 나노박막재료연구실(소장 최치규 교수)이 차세대 초고속 메모리 소자에 핵심기술로 적용되는 ‘자외선 보조 플라즈마 화학기상증착 장비’를 세계 최초로 개발했다.
이번에 개발된 장비는 기존의 반도체 공정장비보다 종착속도가 40~50% 증가하는 등 전기적.기계적.열적 특성이 우수하다고 연구실은 설명했다.
이에 따라 수입 대체효과와 함께 세계 반도체 시장에서의 원천기술 선점을 예상하고 있어 막대한 경제적 파급효과를 가져올 것으로 기대된다.
최 교수는 “1995년부터 자외선 보조 플라즈마 장비와 박막 증착 기술에 대한 연구를 시작했다”며 “이번 연구개발 성공으로 국내외 관련 연구팀에 손색이 없는 수준으로 연구실 위상이 높아졌다”고 말했다.
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