제주대 산학협력단, 반도체 소자공정 적용 기술 최초 개발

제주대학교 산학협력단 나노박막재료연구실(소장 최치규 교수)이 차세대 초고속 메모리 소자에 핵심기술로 적용되는 ‘자외선 보조 플라즈마 화학기상증착 장비’를 세계 최초로 개발했다.

이번에 개발된 장비는 기존의 반도체 공정장비보다 종착속도가 40~50% 증가하는 등 전기적.기계적.열적 특성이 우수하다고 연구실은 설명했다.

이에 따라 수입 대체효과와 함께 세계 반도체 시장에서의 원천기술 선점을 예상하고 있어 막대한 경제적 파급효과를 가져올 것으로 기대된다.

최 교수는 “1995년부터 자외선 보조 플라즈마 장비와 박막 증착 기술에 대한 연구를 시작했다”며 “이번 연구개발 성공으로 국내외 관련 연구팀에 손색이 없는 수준으로 연구실 위상이 높아졌다”고 말했다.